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明天!华工科技碳化硅检测设备灵睛Aeye系列新品首发
来源:未知 点击: 发布时间:2024-06-02 16:41
凯时国际首页外延缺陷绝对高度标准单元变压比4月9日,华工科技000988)将携化合物半导体激光+量测先进装备解决方案亮相2024九峰山论坛暨中国国际化合物半导体产业博览会。
华工科技自主研发的国产碳化硅衬底/外延片缺陷检测设备,针对碳化硅衬底/外延片生产企业的工艺控制环节(过程检测、终检、来料入厂检),对碳化硅衬底/外延片的表面及亚表面缺陷进行精准快速识别、定位、分类,为提升碳化硅衬底/外延片质量控制工艺保驾护航。
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